DIC 2024展商丨博洋化学，微电子材料领域个性化解决方案服务商

一 苏州博洋化学股份有限公司 一

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超净高纯异丙醇作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。目前电子级异丙醇成品中金属离子含量无法满足半导体行业的使用要求，而传统采用氮封阻止水分进入储罐的方法，成本较高，且由于进口等各方面因素，国外的产品的价格一直居高不下，使国内的半导体制造厂商在化学品类存在很大的成本压力。博洋微电子（铜陵）有限公司未来将建造对应产线用于生产G5级超净高纯异丙醇。

应用领域： 半导体领域、TFT/FPD平板显示。

铜蚀刻液近期成为重要的微电子化学品产品，广泛应用于平板显示、LED制造及半导体制造领域。随着新技术的不断进步，对该蚀刻液也有了更高的要求。并且之前市场上的铜蚀刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高浓度双氧水的情况。在此基础上我司自主进行了无氟，无硝酸，低双氧水浓度铜蚀刻液的研发，并可兼容于不同CuMo镀膜厚度之工艺。

产品特点：

1. 6%双氧水浓度的铜蚀刻液lifetime可至7000ppm。

2. 末期铜蚀刻液工艺温度（32）下可稳定72H，常温可稳定120H；无暴沸现象。

3. 铜蚀刻液CD-Loss均一性良好，taper符合制程要求。

4. 铜蚀刻液可兼容MoCu结构不同膜厚度的机种。

ITO/Ag/ITO蚀刻液作为一种重要的微电子化学品，广泛应用于平板显示及OLED制造领域。由于现有蚀刻液存在有：基板底部ITO层易产生侧刻、对其他金属腐蚀性较大（如Al）及残留等现象。在此基础之上，我司自主进行了ITO／Ag／ITO蚀刻液的开发。

应用领域： 半导体领域、TFT/FPD平板显示。

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国际显示技术及应用创新盛会—DISPLAY INNOVATION CHINA（DIC）是由中国光学光电子行业协会液晶分会（CODA）为全球显示产业搭建的集展览展示、行业交流和采购洽谈于一体的综合商贸平台。本届活动将分为 国际 （上海）显示技术及应用创新展（DIC EXPO）、中国（上海）国际显示产业高峰论坛（DIC FORUM）和国际显示技术创新大奖（DIC AWARD）三大版块。通过三位一体的协同运营，DIC将实现以展共见行业发展，以会共享行业高见，以赛共勉行业创新。